【假一罚四】光刻胶材料评测技术
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浙江嘉兴
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作者(日) 关口淳著
出版社化学工业出版社
ISBN9787122438003
出版时间2024-04
装帧精装
开本其他
定价198元
货号4612237
上书时间2024-12-23
商品详情
- 品相描述：全新
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目录
本书从光刻技术基础知识出发, 系统介绍了多种类型光刻胶应用工艺、评测技术。具体包括光刻胶涂布、曝光工艺、曝光后烘烤和显影技术, 以及g线和i线光刻胶、KrF和ArF光刻胶、ArF浸没式光刻胶、EUV光刻胶等的特征、应用工艺及评测技术, 希望对国内的研究人员有很好的启发和指导意义。
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