【假一罚四】硅微机械陀螺误差建模理论与方法

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浙江嘉兴

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作者申强 ... [等] 著

出版社科学出版社

ISBN9787030739490

出版时间2023-03

装帧平装

开本其他

定价150元

货号4339535

上书时间2024-12-18

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商品描述: 目录
本书共9章, 以硅微机械陀螺作为研究对象, 通过数学物理方程推导微机电系统 (MEMS) 宏模型, 采用对称拓扑设计微机械陀螺结构, 制定简单、高效工艺加工微机械陀螺, 根据精密控制、电学知识设计微机械陀螺测控电路, 通过上述方式阐明硅微机械陀螺误差产生机理并为减小其误差提供研究思路。

内容摘要
本书将从结构误差模型（包括异构宏模型、音叉版图等结构误差模型）、制造工艺误差模型（包括根切、粘附、划片和封装等制造误差）、测控电路误差模型（包括零位、馈通电耦合、热启动等电路误差模型）等三大部分、6个章节系统阐述微机械陀螺误差机理及其建模方法，对提升微机械陀螺芯片行业发展水平具有重要的理论价值和工程指导意义。

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