【假一罚四】MEMS压力传感器理论与技术
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浙江嘉兴
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作者蒋庄德等著
出版社高等教育出版社
ISBN9787040604689
出版时间2023-08
装帧精装
开本其他
定价99元
货号4433164
上书时间2024-12-03
商品详情
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目录
本书共13章, 主要内容包括: 绪论、MEMS压力传感器基础理论、MEMS压力传感器硅微工艺、SOI耐高温阻式压力传感器、微型压力传感器、高频压力传感器、谐振式压力传感器等。
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