【假一罚四】MEMS/NEMS谐振器技术
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广东东莞
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作者张文明, 胡开明著
出版社科学出版社
ISBN9787030757197
出版时间2023-08
装帧精装
开本其他
定价298元
货号4461209
上书时间2024-11-26
商品详情
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目录
本书共9章, 主要包括: 介绍MEMS/NEMS 技术基础和谐振器技术的发展历程与趋势; 阐述MEMS/NEMS 谐振器的工作原理、谐振结构设计理论及分析技术; 介绍谐振器件制备涉及的材料、微纳加工工艺及技术; 论述MEMS/NEMS 谐振器中存在的丰富非线性现象、复杂动力学行为; 介绍微纳尺度下的能量耗散理论、阻尼特性与作用机制及测试方法; 详细介绍谐振器件中应用的各种振动激励与检测原理及技术; 阐述通道式谐振器检测原理、动力学设计与分析技术; 论述微纳尺度下谐振器件的模态弱耦合作用机制、谐振器设计及传感技术; 介绍MEMS/NEMS 谐振器中存在的典型失效模式与失效机理, 并论述多种可靠性评估方法及测试技术。
内容摘要
本书主要介绍微/纳机电系统(MEMS/NEMS)谐振器动力学设计理论、分析方法及应用技术。全书共9章，主要内容包括：MEMS/NEMS技术基础和MEMS/NEMS谐振器技术的发展历程与发展趋势；谐振器的工作原理、谐振结构设计理论及分析技术；谐振器件制备涉及的材料、微纳加工工艺及技术；谐振器中存在的丰富非线性现象和复杂动力学行为；微纳尺度下的能量耗散理论、阻尼特性、作用机制及测试方法；谐振器中应用的各种振动激励与检测原理及技术；通道式MEMS/NEMS谐振器检测原理、动力学设计与分析技术；微纳尺度下谐振器件的模态弱耦合作用机制、谐振器设计及传感技术；谐振器中存在的典型失效模式与失效机理，以及多种可靠性评估方法和测试技术。
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