【假一罚四】图解芯片制造技术
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广东东莞
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作者吴元庆, 刘春梅, 王洋编著
出版社化学工业出版社
ISBN9787122438034
出版时间2023-11
装帧平装
开本其他
定价69.8元
货号4505162
上书时间2024-11-26
商品详情
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作者简介
吴元庆，男，1982年，辽宁庄河人，满族，博士，渤海大学物理科学与技术学院副教授。2003年本科毕业于西安电子科技大学电子科学与技术专业，2012年毕业于天津大学微电子学与固体电子学专业获博士学位。主要研究方向为微机电系统的设计与制造，微电子器件的设计等。主讲课程包括《微电子学概论》《微电子专业导读》《EDA技术与版图设计》《太阳能电池材料与器件》等课程。参与“863”项目一项、“973”子项目一项，天津市基金项目两项，主持教育部产学研协同育人项目6项，参与完成教育部“蓝火计划”产学研合作项目1项，主持渤海大学博士科研启动基金项目1项，在相关领域发表论文多篇，专利多项。
目录
本书围绕芯片制造技术展开, 从单晶硅晶体的拉制讲起, 介绍了多种硅晶体的沉积和拉制、切割技术, 着重介绍了光刻技术和光刻设备, 并简要介绍了集成电路封装技术。
内容摘要
芯片是近年来备受关注的高科技产品，在电子、航空航天、机械、船舶、仪表等领域发挥着不可替代的作用。本书围绕芯片制造技术展开，从单晶硅晶体的拉制讲起，介绍了多种硅晶体的沉积和拉制、切割技术，着重介绍了光刻技术和光刻设备，并简要介绍了集成电路封装技术。
本书适宜对芯片技术感兴趣的读者参考。
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