【假一罚四】微纳制造与半导体器件主编周圣军
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作者主编周圣军
出版社机械工业出版社
ISBN9787111759225
出版时间2024-09
装帧平装
开本其他
定价69元
货号4673698
上书时间2024-10-25
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目录
本书分为3篇, 共12章, 包括半导体基本原理 (半导体材料、能带和PN结)、微纳制造工艺 (掺杂、外延生长技术、光刻工艺、纳米压印光刻技术、刻蚀、沉积技术)、半导体器件 (器件测试分析与表征技术、Ⅲ族氮化物发光二极管、SiC压阻式压力传感器、器件仿真软件) 等内容, 对微纳制造和器件加工中涉及的技术与工艺进行了详细的介绍。
内容摘要
本书基于编者在微纳制造领域的实践经验与研究成果,并结合近年来国际上的最新进展,综合介绍了微纳制造技术与半导体器件工艺。全书分为3 篇,共12章,包括半导体基本原理(半导体材料、能带和PN 结)、微纳制造工艺(掺杂、外延生长技术、光刻工艺、纳米压印光刻技术、刻蚀、沉积技术)、半导体器件(器件测试分析与表征技术、Ⅲ族氮化物发光二极管、SiC 压阻式压力传感器、器件仿真软件)等内容,对微纳制造和器件加工中涉及的技术与工艺进行了详细的介绍。
本书内容丰富,注重理论与实践相结合,适合作为机械、微电子、光学等相关专业的教材,供本科生和研究生学习使用,也可作为半导体行业研发人员的参考书。
主编推荐
本书基于编者在微纳制造领域的实践经验与研究成果,并结合近年来国际上的最新进展,综合介绍了微纳制造技术与半导体器件工艺。
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