微纳米加工技术及其应用
￥ 34.85 5.3折 ￥ 66 九五品
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作者崔铮 著
出版社高等教育出版社
ISBN9787040263589
出版时间2009-05
版次1
装帧精装
开本16开
纸张胶版纸
页数367页
字数99999千字
定价66元
上书时间2024-05-13
商品详情
- 品相描述：九五品
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基本信息
书名:微纳米加工技术及其应用
定价：66元
作者:崔铮 著
出版社：高等教育出版社
出版日期：2009-05-01
ISBN：9787040263589
字数：600000
页码：367
版次：2
装帧：精装
开本：16开
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内容提要
本书集作者多年来的实践经验与研究成果，并结合近年来国际上的发展，综合介绍了微纳米加工技术的基础，包括光学曝光技术、电子柬曝光技术、聚焦离子束加工技术、扫描探针加工技术、微纳米尺度的复制技术、各种沉积法与刻蚀法图形转移技术、间接纳米加工技术与自组装纳米加工技术。对各种加工技术的介绍着重讲清原理，列举基本的工艺步骤，说明各种工艺条件的由来，并注意给出典型的工艺参数；充分分析了各种技术的优缺点及在应用过程中的注意事项；以大量图表与实例说明各种加工方法，避免烦琐的数学分析；并以专门一章介绍了微纳米加工技术在现代高新技术领域的应用，演示了如何灵活应用微纳米加工技术来推动这些领域的技术进步。 与国内外同类出版物相比，本书的显著特点是将用于超大规模集成电路生产、微机电系统制造与纳米技术研究的微纳米加工技术进行综合介绍，并加以比较；首次将微纳米加工归纳为平面工艺、探针工艺和模型工艺3种主要类型，突出了微纳米加工与传统加工技术的不同之处。全书既注重基础知识又兼顾微纳米加工领域近年来的进展，并列举了大量参考文献与互联网链接网址，供读者进一步发掘详细信息与深人研究，因此不论是对初次涉足这一领域的大专院校的本科生或研究生，还是对已经有一定工作经验的专业科技人员，都具有很好的参考价值。
目录
作者介绍
东南大学(原南京工学院)本科毕业(1981)，并获该校硕士(1984)和博士(1988)学位。11989年受英国国家科学与工程研究委员会访问研究基金资助(SERC Visiting Fellowship)，到英国剑桥大学微电子研究中心做博士后研究。1993年到英国卢瑟福国家实验室微结构中心做高级研究员，19
序言
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【封面】
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