氮化镓单晶材料生长与应用

氮化镓单晶材料生长与应用正在快速发展，本书以作者所在团队多年来的研究工作为基础，并作了大量扩展和补充，呈现了该领域的研究成果。具体来说，本书分八章内容详细介绍了氮化镓单晶材料生长的基本原理、技术方法、发展现状及应用趋势。
本书系统性强，有较完整的专业知识讲解，实验数据丰富。虽然本书所涉及内容没有涵盖氮化镓单晶材料生长的全部内容，但具有典型性、扼要性、前瞻性。本书可供从事氮化镓单晶材料生长相关研究的科研和工程技术人员阅读参考，也可作为高等院校相关专业领域研究生和高年级本科生的参考教材。

氮化镓单晶材料生长与应用正在快速发展，本书以作者所在团队多年来的研究工作为基础，并作了大量扩展和补充，呈现了该领域的最新研究成果。具体来说，本书分八章内容详细介绍了氮化镓单晶材料生长的基本原理、技术方法、发展现状及应用趋势。
本书系统性强，有较完整的专业知识讲解，实验数据丰富。虽然本书所涉及内容没有涵盖氮化镓单晶材料生长的全部内容，但具有典型性、扼要性、前瞻性。本书可供从事氮化镓单晶材料生长相关研究的科研和工程技术人员阅读参考，也可作为高等院校相关专业领域研究生和高年级本科生的参考教材。

第1章氮化镓单晶材料概述

1.1氮化镓晶体结构及其极性

1.1.1纤锌矿结构

1.1.2晶体极性

1.1.3能带结构

1.2氮化镓晶体缺陷

1.2.1点缺陷

1.2.2位错

1.2.3层错

1.2.4倒反畴界

1.3氮化镓材料特性

1.3.1光学特性

1.3.2电学特性

1.3.3热学特性

参考文献

第2章氮化镓单晶材料生长的基本特性

2.1生长动力学特性

2.1.1热力学驱动力

2.1.2传质输运

2.1.3晶体生长机制

2.1.4晶体生长形态

2.2位错的产生与湮灭

2.2.1失配位错产生机理

2.2.2穿透位错

参考文献

第3章 氮化镓单晶制备的方法——氢化物气相外延生长法

3.1发展历程

3.2生长原理及装备

3.2.1基本原理

3.2.2HVPE生长过程的研究

3.2.3HVPE反应器的分类及研究现状

3.3应力及缺陷控制

3.3.1应力控制

3.3.2缺陷控制

3.4掺杂技术

3.4.1非故意掺杂

3.4.2 Si掺杂

3.4.3 Ge掺杂

3.4.4半绝缘掺杂

3.5氮化镓单晶衬底分离技术

3.5.1自分离工艺

3.5.2激光剥离

3.6发展趋势

参考文献

第4章 氮化镓单晶制备的方法——氨热法

4.1发展历程

4.2生长原理

4.3 工艺流程和生长装备

4.3.1工艺流程

4.3.2生长装备

4.4氨热化学反应过程及溶解度控制

4.5晶体生长进展…

4.5.1碱性矿化剂氨热GaN晶体生长进展

4.5.2酸性矿化剂氨热GaN晶体生长进展

4.6发展趋势

参考文献

第5章氮化镓单晶制备的方法——助熔剂法

5.1发展历程

5.2基本原理和控制方法

5.2.1基本原理

5.2.2过饱和度控制

5.2.3缺陷控制

5.2.4应力控制

5.3液相外延生长技术

5.4大尺寸氮化镓单晶生长

5.4.1多点籽晶合并法

5.4.2拼接法

5.4.3国内研究进展

5.5发展趋势

参考文献

第6章氮化镓单晶同质外延生长技术

6.1同质外延特点

6.1.1同质外延的优势

6.1.2同质外延的特殊性

6.2外延衬底表面处理

6.2.1化学机械抛光

6.2.2干法和湿法刻蚀

6.3同质外延界面控制

6.3.1同质外延界面主要杂质类型

6.3.2同质外延界面杂质来源

6.3.3同质外延界面杂质对器件的影响

6.3.4同质外延界面杂质解决方案

6.4同质外延缺陷控制

参考文献

……

第8章氮化镓单晶材料的应用——电力电子和微波射频器件

8.1应用市场分析

8.1.1电力电子器件应用市场分析·

8.1.2微波射频器件应用市场分析

8.2pn结二极管

8.3肖特基势垒二极管

8.4 GaN基MOSFET器件

8.5 GaN基HEMT器件

8.6Ga基CAVET器件

8.7发展趋势

参考文献

氮化镓单晶材料生长与应用正在快速发展，本书以作者所在团队多年来的研究工作为基础，并作了大量扩展和补充，呈现了该领域的研究成果。具体来说，本书分八章内容详细介绍了氮化镓单晶材料生长的基本原理、技术方法、发展现状及应用趋势。
本书系统性强，有较完整的专业知识讲解，实验数据丰富。虽然本书所涉及内容没有涵盖氮化镓单晶材料生长的全部内容，但具有典型性、扼要性、前瞻性。本书可供从事氮化镓单晶材料生长相关研究的科研和工程技术人员阅读参考，也可作为高等院校相关专业领域研究生和高年级本科生的参考教材。

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本书系统性强，有较完整的专业知识讲解，实验数据丰富。虽然本书所涉及内容没有涵盖氮化镓单晶材料生长的全部内容，但具有典型性、扼要性、前瞻性。本书可供从事氮化镓单晶材料生长相关研究的科研和工程技术人员阅读参考，也可作为高等院校相关专业领域研究生和高年级本科生的参考教材。