集成电路制造工艺
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作者刘新 彭勇 蒲大雁 主编
出版社机械工业出版社
ISBN9787111498629
出版时间2023-06
装帧平装
开本16开
定价39.9元
货号29594887
上书时间2024-10-21
商品详情
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导语摘要
本书主要介绍集成电路制造工艺的原理及关键工艺操作流程。内容从半导体产业发展及行业背景开始介绍，首先介绍了半导体材料硅的制备及硅片的制备。在开始介绍具体的操作工艺流前，介绍了典型的几个工艺操作流程，随后按照半导体制造工艺流程的顺序依次介绍了清洗工艺，外延工艺、氧化工艺、化学气相淀积工艺、光刻工艺、刻蚀工艺、扩散工艺、离子注入工艺、金属化工艺、平坦化工艺，最后简单的介绍了工艺制造完成以后的中测及后面的封装工艺。
作者简介
刘新，女，湖南邵阳人，本科毕业于哈尔滨工业大学电子与信息工程专业，研究生毕业于重庆邮电大学微电子与固体电子学专业，现任重庆城市管理职业学院信息工程学院。微电子技术专业和电子信息技术专业专任教师，主要承担的课程有：《半导体器件物理》、《EDA技术》、《集成电路制造工艺》、《SMT工艺》、《电子信息专业英语》和《微电子专业英语》
等课程。
多年来，作者参与编写公开出版的专业教材多部，教材名称如下：《微电子专业英语》、《电子制造专业英语》、《集成电路设计与项目应用》、《电路与电子技术》。
针对本校的实际情况，作者根据多年的教学实践工作，参照相关教材和资料，整理出版了多部校本教材。教材名称如下：《电子信息专业英语自编讲义》、《微电子专业英语自编讲义》、《集成电路制造工艺自编讲义》、《集成电路制造工艺生产实训指导书》、《SMT生产工艺自编讲义》、《SMT生产工艺生产实训指导书》、《EDA技术与实践》自编讲义。
目录
出版说明
前言
第1章半导体产业概况
1．1半导体产业的发展历程
1．2电路集成
1．3半导体产业发展趋势
1．3．1提高芯片性能
1．3．2提高芯片可靠性
1．3．3降低芯片价格
1．4半导体制造产业及职业
1．4．1半导体制造产业
1．4．2半导体制造产业中的职业
1．5习题
第2章硅衬底的制备
2．1半导体材料
2．1．1半导体材料的分类
2．1．2常用的半导体材料
2．2硅材料的制备
2．2．1半导体级硅的制备
2．2．2晶体结构
2．2．3单晶硅的制备
2．3硅衬底的制备
2．3．1晶圆的制备
2．3．2硅片的质量控制
2．4习题
第3章集成电路制造工艺概况
3．1双极型晶体管制造工艺概况
3．2MOS场效应晶体管工艺概况
3．3CMOS集成电路工艺概况
3．4习题
第4章集成电路制造中的污染控制
4．1集成电路制造中的玷污
4．1．1颗粒
4．1．2金属杂质
4．1．3有机物玷污
4．1．4自然氧化层
4．1．5静电释放
4．2玷污的源与控制
4．2．1空气
4．2．2人
4．2．3净化间布局
4．2．4生产设备
4．3清洗工艺
4．3．1化学湿法清洗工艺
4．3．2干法清洗工艺
4．3．3常用清洗设备——超声波清洗设备
4．4清洗工艺生产实训
4．4．1原始硅片清洗
4．4．2光刻后去胶清洗
4．4．3预扩散后清洗
4．4．4反刻铝后清洗
4．5习题
……
第5章外延工艺
第6章氧化工艺
第7章化学气相淀积
第8章隔离工艺
第9章光刻工艺
第10章刻蚀工艺
第11章掺杂工艺
第12章金属化工艺
第13章平坦化工艺
第14章晶圆测试
附录晶体管生产工艺实训
参考文献
内容摘要
本书主要介绍集成电路制造工艺的原理及关键工艺操作流程。内容从半导体产业发展及行业背景开始介绍，首先介绍了半导体材料硅的制备及硅片的制备。在开始介绍具体的操作工艺流前，介绍了典型的几个工艺操作流程，随后按照半导体制造工艺流程的顺序依次介绍了清洗工艺，外延工艺、氧化工艺、化学气相淀积工艺、光刻工艺、刻蚀工艺、扩散工艺、离子注入工艺、金属化工艺、平坦化工艺，最后简单的介绍了工艺制造完成以后的中测及后面的封装工艺。
主编推荐
刘新，女，湖南邵阳人，本科毕业于哈尔滨工业大学电子与信息工程专业，研究生毕业于重庆邮电大学微电子与固体电子学专业，现任重庆城市管理职业学院信息工程学院。微电子技术专业和电子信息技术专业专任教师，主要承担的课程有：《半导体器件物理》、《EDA技术》、《集成电路制造工艺》、《SMT工艺》、《电子信息专业英语》和《微电子专业英语》等课程。多年来，作者参与编写公开出版的专业教材多部，教材名称如下：《微电子专业英语》、《电子制造专业英语》、《集成电路设计与项目应用》、《电路与电子技术》。针对本校的实际情况，作者根据多年的教学实践工作，参照相关教材和资料，整理出版了多部校本教材。教材名称如下：《电子信息专业英语自编讲义》、《微电子专业英语自编讲义》、《集成电路制造工艺自编讲义》、《集成电路制造工艺生产实训指导书》、《SMT生产工艺自编讲义》、《SMT生产工艺生产实训指导书》、《EDA技术与实践》自编讲义。
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