半导体材料生长技术

图书标准信息

• 作者 [美]曾（Tsang, W.T.） 主编；江剑平 译
• 出版社 广东科技出版社；清华大学出版社
• 出版时间 1993-01
• ISBN 9787535911353
• 定价 28.80元
• 装帧 精装
• 开本 20cm
• 页数 443页
• 正文语种 简体中文
• 原著语种 English

【内容简介】

本册共6章，详细说明各种Ⅲ-V族化合物半导体的外延生长技术和材料缺陷，讨论了液相外延、分子束外延、常压和低压金属有机化学汽相沉积，以及卤化物和氯化物输运汽相沉积等各项技术。