超大规模集成电路技术基础
￥ 90 九品
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天津西青
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作者李兴
出版社电子工业出版社
出版时间1999-05
版次1
装帧平装
货号B3-3
上书时间2024-01-08
商品详情
- 品相描述：九品
图书标准信息
- 作者 李兴
- 出版社 电子工业出版社
- 出版时间 1999-05
- 版次 1
- ISBN 9787505351950
- 定价 35.00元
- 装帧 平装
- 开本 其他
- 纸张 其他
- 页数 255页
- 【目录】
- 绪论第一章 硅的晶体结构第二章 光刻第三章 掺杂第四章 氧化及热处理第五章 薄膜工艺基础与物理气相沉积第六章 化学汽相沉积（VCD）第七章 刻蚀第八章 平坦化及多重内连线工艺第九章 超大规模集成电路工艺汇总
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