微纳米加工技术及其应用

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天津武清

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作者崔铮

出版社高等教育出版社

ISBN9787040543025

出版时间2020-10

版次1

装帧平装

开本16开

纸张胶版纸

定价129元

上书时间2024-06-03

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商品描述: 基本信息
书名:微纳米加工技术及其应用
定价：129.00元
作者:崔铮
出版社：高等教育出版社
出版日期：2020-10-01
ISBN：9787040543025
字数：
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版次：4
装帧：平装
开本：16开
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编辑推荐

内容提要
本书集作者多年来的实践经验与研究成果，综合介绍微纳米加工技术的基础，包括光学曝光技术、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、扫描探针加工技术、微纳米尺度的复制技术、各种沉积法与刻蚀法图形转移技术、间接纳米加工技术与自组装纳米加工技术等。第四版在内容上反映了集成电路芯片加工技术的进步，不论是对初次涉足这一领域的大专院校的本科生或研究生，还是对已经有一定工作经验的专业科技人员，都具有很好的参考价值。
目录

作者介绍

序言

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