集成电路与等离子体装备

正版保障假一赔十电子发票

104.26 6.2折 168 全新

库存56件

湖北武汉

认证卖家担保交易快速发货售后保障

作者赵晋荣等编著

出版社科学出版社

ISBN9787030775467

出版时间2024-04

装帧精装

开本其他

定价168元

货号4590791

上书时间2024-08-28

已实名已认证进店收藏店铺

商品描述: 目录
本书主要介绍了集成电路中与等离子体设备相关的内容, 具体包括集成电路简史、分类和发展方向以及面临的挑战、气体放电的基本原理和典型应用、等离子体刻蚀机工艺与设备、等离子体表面处理技术与设备、物理气相沉积设备与工艺、等离子体增强化学气相沉积工艺与设备、高密度化学气相沉积工艺与设备、炉管设备与工艺等。

内容摘要
全书主要介绍了集成电路中与等离子体设备相关的内容，具体包括集成电路简史、分类和发展方向以及面临的挑战，气体放电的基本原理和典型应用、等离子体刻蚀工艺与设备、等离子体表面处理技术与设备、物理气相沉积设备与工艺、等离子体增强化学气相沉积工艺与设备、高密度等离子体化学气相沉积工艺与设备、炉管设备与工艺等。本书适合集成电路专业高年级本科生、研究生阅读参考，也可作为集成电路相关领域的科研人员和工程技术人员的参考用书。

— 没有更多了 —