硅基MEMS制造技术
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湖北武汉
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作者王跃林, 吴国强等编著
出版社电子工业出版社
ISBN9787121432088
出版时间2022-04
装帧精装
开本其他
定价138元
货号4015436
上书时间2024-08-14
商品详情
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目录
本书主要围绕如何利用集成电路平面工艺制造三维微机械结构, 进而实现硅基MEMS芯片的批量制造, 系统介绍了硅基MEMS芯片制造技术。由于MEMS涉及学科较多, 为了让不同学科背景的人能够快速读懂本书, 本书先对MEMS的来龙去脉及MEMS出现的原因进行了简单介绍, 然后详细介绍了相关内容, 尽量做到通俗易懂。希望读者通过本书能全面了解硅基MEMS芯片制造技术, 为从事与MEMS相关的工作打下基础。
内容摘要
随着MEMS技术的不断成熟和全面走向应用，MEMS芯片的量产问题变得越来越重要。显然MEMS芯片的量产必须在集成电路生产线上进行，但是MEMS芯片制造与集成电路制造相比有明显不同，这使得集成电路生产线在转型制造MEMS芯片时会遇到一些特殊的工艺问题。本书主要围绕如何利用集成电路平面工艺制造三维微机械结构，进而实现硅基MEMS芯片的批量制造，系统介绍了硅基MEMS芯片制造技术。由于MEMS涉及学科较多，为了让不同学科背景的人能够快速读懂本书，本书先对MEMS的来龙去脉及MEMS出现的原因进行了简单介绍，然后详细介绍了相关内容，尽量做到通俗易懂。希望读者通过本书能全面了解硅基MEMS芯片制造技术，为从事与MEMS相关的工作打下基础。
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