MEMS/NEMS谐振器技术
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九品
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作者张文明;胡开明
出版社科学出版社
出版时间2023-09
版次1
装帧其他
上书时间2024-05-23
商品详情
- 品相描述:九品
图书标准信息
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作者
张文明;胡开明
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出版社
科学出版社
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出版时间
2023-09
-
版次
1
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ISBN
9787030757197
-
定价
298.00元
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装帧
其他
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开本
16开
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纸张
胶版纸
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页数
488页
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字数
298.000千字
- 【内容简介】
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本书主要介绍微/纳机电系统(MEMS/NEMS)谐振器动力学设计理论、分析方法及应用技术。全书共9章,主要内容包括:MEMS/NEMS技术基础和MEMS/NEMS谐振器技术的发展历程与发展趋势;谐振器的工作原理、谐振结构设计理论及分析技术;谐振器件制备涉及的材料、微纳加工工艺及技术;谐振器中存在的丰富非线性现象和复杂动力学行为;微纳尺度下的能量耗散理论、阻尼特性、作用机制及测试方法;谐振器中应用的各种振动激励与检测原理及技术;通道式MEMS/NEMS谐振器检测原理、动力学设计与分析技术;微纳尺度下谐振器件的模态弱耦合作用机制、谐振器设计及传感技术;谐振器中存在的典型失效模式与失效机理,以及多种可靠性评估方法和测试技术。
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