• 硅MEMS工艺与设备基础
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硅MEMS工艺与设备基础

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作者阮勇、尤政 编

出版社国防工业出版社

ISBN9787118117400

出版时间2018-12

版次1

装帧平装

开本16开

纸张胶版纸

页数463页

字数550千字

定价160元

货号9787118117400

上书时间2024-12-03

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