精密纳米计量学

图书标准信息

• 作者 [日]高伟 著
• 出版社 国防工业出版社
• 出版时间 2022-04
• 版次 1
• ISBN 9787118124668
• 定价 98.00元
• 装帧 其他
• 开本 16开
• 纸张 胶版纸
• 页数 256页
• 字数 242千字

【内容简介】

精密纳米计量学:用于纳米制造的传感器和测量系统由()高伟著

【目录】

章测量表面斜率和倾斜运动的角度传感器

1.1概述

1.2带有象限光电二极管的角度传感器

1.3带有光电二极管阵列的角度传感器

1.4带有单单元光电二极管的角度传感器

1.5小结

参文献

第2章用于测量多轴倾斜运动的激光自准直仪

2.1概述

2.2双轴激光自准直仪

2.3单镜头激光自准直仪

2.4三轴激光自准直仪

2.5小结

参文献

第3章用于测量面内运动的表面

3.1概述

3.2用于mdof面内运动的表面

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