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MEMS光纤声压传感器技术
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作者金鹏
出版社科学出版社
出版时间2022-03
版次31
装帧其他
上书时间2023-04-09
商品详情
- 品相描述：全新
图书标准信息
- 作者 金鹏
- 出版社 科学出版社
- 出版时间 2022-03
- 版次 31
- ISBN 9787030693273
- 定价 99.00元
- 装帧 其他
- 页数 180页
- 【内容简介】
- 本书首先介绍MEMS光纤声压传感器的结构特征、发展历程和应用前景；其次根据MEMS光纤声压传感器的工作原理，分别从光学和力学两个角度进行详细的介绍与分析；然后从制作角度介绍传感器的膜片加工和结构封装；后对传感器的性能进行详细的测试。
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