射频等离子体物理学
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作者(法)帕斯卡·夏伯特(Pascal Chabert),(英)尼古拉斯·布雷斯韦特(Nicholas Braithwaite) 著;王友年,徐军,宋远红 译
出版社科学出版社
ISBN9787030459190
出版时间2015-10
装帧平装
开本其他
定价128元
货号1201199199
上书时间2024-12-08
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作者简介
帕斯卡·夏伯特：法国科学院研究中心（CNRS)主任，目前是法国巴黎综合理工学院等离子体物理实验室低温等离子体研究小组的负责人，专长是等离子体物理及等离子体工艺。
尼古拉斯·布雷斯韦特：英国开放大学工程物理教授，所带领的研究小组主要从事技术等离子体物理研究。自1998年起，一直是《等离子体源科学及技术》（PZaa Sources Science & Technology）的編委。
目录
第1章概论
1.1等离子体
1.2微电子学中的等离子体工艺
1.3等离子体推进
1.4射频等离子体:E，H和W模式
1.5内容简介
第2章等离子体动力学与平衡
2.1微观描述
2.2宏观描述
2.3整体粒子和能量平衡
2.4电动力学描述
2.5本章总结
第3章有界等离子体
3.1空间电荷鞘层区
3.2等离子体/鞘层过渡
3.3等离子体区:输运模型
3.4本章总结
第4章射频鞘层
4.1响应时间
4.2离子动力学
4.3电子动力学
4.4(高频)RF鞘层的解析模型
4.5重要结果归纳
第5章单频容性耦合等离子体
……
内容摘要
针对微电子工业中的材料处理工艺（如半导体芯片加工），介绍有关的的低气压射频等离子体的产生方法及物理特性，涉及目前很重要的三种射频等离子体源（单频及多频电容耦合，电感耦合，螺旋波耦合）及其关联性。书中也论述了低温高密度等离子体在微电子器件制备等领域应用的很新进展及相关技术问题。作者在书中精心设计了超过100道习题，有利于读者深入了解掌握所涉及的基本概念。
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