微细加工与微纳加工技术及应用
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浙江嘉兴
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作者编者:赵波//李伯民//李清|责编:朱彤
出版社化学工业
ISBN9787122369406
出版时间2021-01
装帧其他
开本其他
定价79元
货号31027473
上书时间2024-10-14
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商品详情
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目录
第1章 绪论
1.1 先进制造技术发展趋势
1.2 微制造
1.3 微切削
1.4 纳米材料、纳米技术
1.5 微纳米加工技术
1.5.1 微纳米加工技术的基本过程
1.5.2 微纳米加工成像工艺类型
第2章 微切削加工技术
2.1 微切削加工技术概论
2.2 微切削力学
2.2.1 尺寸效应
2.2.2 切屑形成与最小切削厚度
2.2.3 比切削能与微切削力
2.2.4 表面生成和毛刺生成
2.3 微型刀具设计与制造
2.3.1 微型刀具尺寸与加工尺度
2.3.2 实柄微刀具的制造方法
2.3.3 涂层与实柄涂层微刀具
2.3.4 金刚石微切削刀具
2.3.5 微切削刀具的磨损
2.4 金刚石车削与微车削
2.4.1 超精密金刚石车削
2.4.2 金刚石车削加工微结构
2.4.3 微车削
2.4.4 微车削中的尺寸效应
2.5 微铣削加工技术
2.5.1 微铣削加工系统构成
2.5.2 微铣削机床
2.5.3 微铣刀
2.5.4 工艺条件
2.5.5 工件材料
2.6 微铣削中的力学
2.6.1 微尺度切削中的尺寸效应
2.6.2 最小切削厚度
2.6.3 工件材料微观结构的影响
2.6.4 微铣削技术面临的问题
2.7 微细钻削技术
2.7.1 微细钻头
2.7.2 微孔加工机床
2.7.3 微孔钻削工艺
2.7.4 微孔钻削实例
2.7.5 微孔钻削中颤振研究简介
2.8 微磨削技术
2.8.1 微（超精）磨削加工过程
2.8.2 金刚石微粉超硬砂轮超精密磨削
2.8.3 复合结合剂（黏结剂）金刚石微粉砂轮超精密磨削
2.8.4 微磨削加工脆性材料的去除机理
2.8.5 工件材料与金刚石磨粒之间的相互作用
2.8.6 微磨削的加工方法
2.8.7 在线电解修锐法（ELID）
2.8.8 微磨削加工实例
第3章 微细电加工技术
3.1 电火花加工机理及特点
3.2 微细电极的在线制作与检测
3.3 电火花微铣削加工技术
3.3.1 电火花微铣削加工技术的特点
3.3.2 基于分层制造原理的电火花微铣削加工技术
第4章 激光的微纳米加工技术
4.1 激光的基本原理
4.1.1 单色光束的产生
4.1.2 受激发射
4.1.3 二极管激光器
4.1.4 准分子激光器
4.1.5 钛：蓝宝石激光器
4.2 光束特性
4.3 激光光学
4.3.1 光学品质
4.3.2 激光加工原理
4.4 激光微米加工
4.4.1 纳秒脉冲微米加工
4.4.2 保护气体
4.4.3 表面熔化阶段划分
4.4.4 纳秒脉冲微米微加工的效果
4.4.5 皮秒脉冲微米加工
4.5 激光纳米加工技术
第5章 面向MEMS与NEMS应用的金刚石CVD技术
5.1 CVD工艺原理与发展
5.2 金刚石CVD工艺类型
5.3 衬底
5.3.1 衬底材料的选择
5.3.2 衬底预处理
5.3.3 对钼/硅衬底的预处理
5.3.4 对硬质合金衬底的预处理
5.4 改进的热灯丝CVD工艺
5.4.1 热灯丝组件的改进
5.4.2 工艺条件
5.5 金刚石的成核与生长
5.5.1 成核阶段
5.5.2 同质外延生长
5.5.3 异质外延生长
5.5.4 偏压增强型成核（BEN）
5.5.5 温度的影响
5.6 金刚石在三维衬底上的沉积
5.6.1 在金属（钼）丝上金刚石沉积
5.6.2 在WC-Co（硬质合金）微型钻头上的沉积
5.6.3 在WC-Co牙钻上的金刚石沉积
第6章 纳米机械加工原理、方法与实现
6.1 纳米机械加工概念及类型
6.2 纳米机械加工理论基础
6.2.1 切削力和切削能量
6.2.2 切削温度
6.2.3 切屑形成和表面生成
6.2.4 最小未变形切屑厚度
6.2.5 临界切削刃半径
6.2.6 工件材料特性
6.3 纳米机械加工的实现及应用前景
6.3.1 超精密机床
6.3.2 切削刀具
6.3.3 切削参数变化对加工表面质量的影响
6.3.4 实用化纳米尺度加工
6.4 超精密的砂带磨削方式
6.4.1 超精密砂带磨削方式
6.4.2 超声波砂带磨削运动与机理
6.4.3 砂带磨削的应用
第7章 微纳米加工光刻技术
7.1 光学曝光技术
7.1.1 光学曝光方式与原理
7.1.2 光刻胶的特性
7.1.3 正型光刻胶与负型光刻胶
7.1.4 化学放大胶与特殊光刻胶
7.1.5 光学掩膜的设计与制作
7.2 短波长曝光技术
7.2.1 深紫外曝光技术
7.2.2 极紫外曝光技术
7.2.3 X射线的曝光技术
7.3 大数值孔径与浸没式曝光技术
7.4 厚胶曝光技术
7.4.1 酚醛清漆光刻胶
7.4.2 SU-8光刻胶
7.5 LIGA（光刻、电镀、注塑复制）技术
7.5.1 用于LIGA的X射线光源
7.5.2 X射线LIGA掩膜
7.5.3 用于X射线LIGA的厚胶及其工艺
7.5.4 影响X射线的LIGA图形精度的因素
7.6 电子束曝光技术
7.6.1 电子束曝光系统
7.6.2 电子束曝光图形设计与数据格式
7.6.3 电子束曝
内容摘要
微细加工与微纳加工技
术是当前发展最快的技术之一，已广泛应用于机械、微电子、材料、机电、化工、
能源、航空航天、通信、生
物技术、医疗卫生、军事等领域。本书综合了近年来机械微加工和微纳加工领域的国内外新理论、新技术、新成果。全书分别介绍了微切削加工技术，微细电加工技
术，激光的微纳米加工技术，面向MEMS与NEMS应用的金刚石CVD技术，纳米机械加工原理、方法与实现；还重点介绍了微纳米加工光刻技术、沉积法图形转移技
术、刻蚀法图形转移技术、
薄膜沉积技术、自组装纳米加工技术、微纳米加工技术的应用等内容。
本书内容丰富、语言精练，具有较强的实践指导意义和实用价值。本书可供机电、微电子、新材料、通信、能源、化工等领域的科研人员、技术人员阅读或参考，也可作为相关专业大专师生的教学参考书。
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