半导体材料生长技术
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九品
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作者[美]曾(Tsang, W.T.) 主编;江剑平 译
出版社广东科技出版社;清华大学出版社
出版时间1993-01
装帧精装
上书时间2024-01-09
商品详情
- 品相描述:九品
图书标准信息
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作者
[美]曾(Tsang, W.T.) 主编;江剑平 译
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出版社
广东科技出版社;清华大学出版社
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出版时间
1993-01
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ISBN
9787535911353
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定价
28.80元
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装帧
精装
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开本
20cm
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页数
443页
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正文语种
简体中文
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原著语种
English
- 【内容简介】
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本册共6章,详细说明各种Ⅲ-V族化合物半导体的外延生长技术和材料缺陷,讨论了液相外延、分子束外延、常压和低压金属有机化学汽相沉积,以及卤化物和氯化物输运汽相沉积等各项技术。
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