精密纳米计量学
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全新
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作者[日]高伟 著
出版社国防工业出版社
出版时间2022-04
版次1
装帧其他
上书时间2024-10-21
商品详情
- 品相描述:全新
图书标准信息
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作者
[日]高伟 著
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出版社
国防工业出版社
-
出版时间
2022-04
-
版次
1
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ISBN
9787118124668
-
定价
98.00元
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装帧
其他
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开本
16开
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纸张
胶版纸
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页数
256页
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字数
242千字
- 【内容简介】
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精密纳米计量学:用于纳米制造的传感器和测量系统由()高伟著
- 【目录】
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章测量表面斜率和倾斜运动的角度传感器
1.1概述
1.2带有象限光电二极管的角度传感器
1.3带有光电二极管阵列的角度传感器
1.4带有单单元光电二极管的角度传感器
1.5小结
参文献
第2章用于测量多轴倾斜运动的激光自准直仪
2.1概述
2.2双轴激光自准直仪
2.3单镜头激光自准直仪
2.4三轴激光自准直仪
2.5小结
参文献
第3章用于测量面内运动的表面
3.1概述
3.2用于mdof面内运动的表面
……
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