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硅MEMS工艺与设备基础

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广东广州

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作者阮勇，尤政编著

出版社国防工业出版社

ISBN9787118117400

出版时间2016-12

装帧平装

开本其他

定价160元

货号9461437

上书时间2024-09-04

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品相描述：全新

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第一章 MEMS技术与器件发展概述1．1 概述1．2 MEMS器件1．2．1 MEMS振荡器1．2．2 MEMS麦克风1．2．3 MEMS微镜头1．2．4 数字微镜器件/数字光学投影技术1．2．5 MEMS压力传感器1．2．6 MEMS运动测量器件

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