微机电系统设计与制造

图书标准信息

• 作者 莫锦秋 编著
• 出版社 化学工业出版社
• 出版时间 2004
• ISBN 9787502552374
• 定价 30.00元
• 装帧 其他
• 开本 26cm
• 页数 177页
• 正文语种 简体中文
• 丛书 光机电一体化丛书

【内容简介】

本书主要从普及的角度介绍微机电系统及其相关技术，对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行介绍。