氧化锌薄膜材料

图书标准信息

• 作者 刘耀东 著
• 出版社 国防工业出版社
• 出版时间 2013-08
• 版次 1
• ISBN 9787118085365
• 定价 28.00元
• 装帧 平装
• 开本 大32开
• 纸张 胶版纸
• 页数 134页
• 字数 199千字

【内容简介】

《氧化锌薄膜材料》由刘耀东著。《氧化锌薄膜材料》共七章包括ZnO结构及性质、ZnO的掺杂特性、不同铝含量沉积ZnO：Al薄膜、ZnO薄膜的低温沉积、N掺杂ZnO薄膜及Al、N共掺杂、ZnO结型器件、ZnO薄膜的应用、ZnO薄膜的晶体结构、ZnO薄膜的光电特性等内容。

【目录】

第一章ZnO结构及性质

1.1引言

1.2ZnO薄膜的晶体结构

1.3ZnO薄膜的光电特性

1.4ZnO薄膜的发光机理

1.5ZnO薄膜的研究现状

1.5.1ZnO的掺杂特性和pn结的制作

1.5.2ZnO薄膜的应用前景

1.6ZnO薄膜的制备方法

1.6.1分子束外延

1.6.2金属有机物气相外延

1.6.3纯锌膜氧化法

1.6.4磁控溅射法

1.6.5脉冲激光沉积法

1.6.6溶胶一凝胶法

1.6.7喷雾热解法

1.6.8原子层外延法

参考文献

第二章ZnO的掺杂特性

2.1引言

2.2ZnO的n型掺杂

2.2.1Al掺杂ZnO薄膜

2.2.2在有机基体上沉积ZnO:Al薄膜

2.2.3F掺杂ZnO薄膜

2.2.4Mn掺杂ZnO薄膜

2.2.5Ga掺杂ZnO薄膜

2.3ZnO的p型掺杂

2.3.1N掺杂ZnO薄膜

2.3.2P掺杂ZnO薄膜

2.3.3Ag掺杂ZnO薄膜

2.4微观组织、结构特性和发光性能的表征

2.5脉冲激光沉积法制备薄膜的工艺参数

2.6ZnO的N及Al、N共掺杂

参考文献

第三章不同铝含量沉积ZnO:Al薄膜

3.1引言

3.2Al含量对ZnO:Al薄膜结构的影响

3.3Al含量对ZnO:Al薄膜发光性能的影响

3.4Al含量对ZnO:Al薄膜电学性能的影响

3.5基体温度对ZnO:Al薄膜结构特性和透光率的影响

3.6不同Al含量对ZnO:Al薄膜透光性能的影响

3.7基体温度对ZnO:Al薄膜发光性能的影响

参考文献

第四章ZnO薄膜的低温沉积

4.1引言

4.2室温下PLD激光能量密度对ZnO:Al薄膜结构的影响

4.3室温下PLD激光能量密度对ZnO:Al薄膜可见光波段透光率的影响

4.4室温下PLD激光能量密度对ZnO:Al薄膜PL谱的影响

4.5在有机基体上沉积ZnO:Al薄膜

4.5.1氧气压力对ZnO:Al薄膜结构特性的影响

4.5.2基体温度对ZnO:Al薄膜结构特性的影响

4.5.3有机基体上沉积ZnO:AJ薄膜的发光性能

参考文献

第五章N掺杂ZnO薄膜及Al、N共掺杂

5.1引言

5.2N及Al、N共掺杂ZnO薄膜的结晶性能

5.3N及Al、N共掺杂ZnO薄膜的发光性能

5.4N及Al、N共掺杂ZnO薄膜的电学性能

5.5N及Al、N共掺杂ZnO薄膜的XPS分析

参考文献

第六章ZnO结型器件

6.1引言

6.2氧化锌同质pn结

6.3氧化锌异质pn结

6.3.1氧化锌与GaN异质结的能带结构

6.3.2ZnO/GaN异质结发光二极管

参考文献

第七章ZnO薄膜的应用

7.1引言

7.2ZnO气敏元件

7.3ZnO透明导电薄膜

7.4ZnO薄膜晶体管

7.5ZnO发光器件

7.6ZnO光电导紫外探测器

7.7ZnO声表面波器件

参考文献