GB/T 34178-2017 光掩模石英玻璃基板
￥ 31 ￥ 31 全新
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作者中国标准出版社
出版社中国标准出版社
出版时间2024-08
版次1
印刷时间2024-08
印次1
印数1千册
装帧平装
开本16开
纸张胶版纸
页数16页
字数22千字
定价31元
货号1-57529
上书时间2024-11-06
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商品详情
- 品相描述：全新
- 商品描述
-
本标准规定了光掩模石英玻璃基板（以下简称石英玻璃基板）的术语和定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统（MEMS）、光电器件和发光二级管（LED）等光刻工艺中光掩模石英玻璃基板。
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