GB/T 29056-2012 硅外延用三氯氢硅化学分析方法硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定电感耦合等离子体质谱法

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作者中国标准出版社

出版社中国标准出版社

出版时间2024-08

版次1

印刷时间2024-08

印次1

印数1千册

装帧平装

开本16开

纸张胶版纸

页数12页

字数12千字

定价29元

货号1-46635

上书时间2024-11-20

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商品描述: 本标准规定了用电感耦合等离子体质谱仪测定硅外延用SiHCl3中硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷、锑等痕量元素含量的方法。
本标准适用于硅外延用三氯氢硅中硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷、锑等含量的测定。

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GB/T 29056-2012 硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法