GB/T 14603-2009 电子工业用气体三氟化硼

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北京朝阳

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作者中国标准出版社

出版社中国标准出版社

出版时间2024-08

版次1

印刷时间2024-08

印次1

印数1千册

装帧平装

开本16开

纸张胶版纸

页数16页

字数18千字

定价31元

货号1-39313

上书时间2024-10-29

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商品描述: 本标准规定了电子工业用三氟化硼的技术要求、试验方法检验规则、包装、标志、贮运及安全要求。
本标准适用于以氟气和硼单质为原料，采用直接化合的方法制得并经过纯化制取的三氟化硼；和以氟硼酸钠为原料热分解法制得并经过纯化制取的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。

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GB/T 14603-2009 电子工业用气体 三氟化硼