折射衍射微光学结构的单步光刻与湿法蚀刻原理与应用

图书标准信息

• 作者 张新宇 谢长生 著
• 出版社 国防工业出版社
• 出版时间 2021-10
• 版次 1
• ISBN 9787118122848
• 定价 169.00元
• 装帧 其他
• 开本 32开
• 纸张 胶版纸
• 页数 220页
• 字数 265千字

【内容简介】

本书主要针对可见光、红外、太赫兹等谱域的折射与衍射微光学结构，开展新的设计、工艺制作和测试评估方法研究。重点论述了以折射和衍射微光学积分变换为基础，有效出射可见光、红外及太赫兹多谱图像与波前的基础理论和基本方法，建立了基于衍射相位精细构建在设计、仿真、工艺、测试与评估等方面的数据和方法体系。

【目录】

本书主要针对可见光、红外和太赫兹等谱域的折射与衍射微光学结构, 开展新的设计、工艺制作和测试评估方法的研究。重点论述了以折射和衍射微光学积分变换为基础, 有效出射可见光、红外及太赫兹多谱图像与波前的基础理论和基本方法, 建立了基于衍射相位精细构建在设计、仿真、工艺、测试与评估等方面的数据和方法体系。

内容摘要
本书主要针对可见光、红外和太赫兹等谱域的折射与衍射微光学结构，开展新的设计、工艺制作和测试评估方法的研究。重点论述了以折射和衍射微光学积分变换为基础，有效出射可见光、红外及太赫兹多谱图像与波前的基础理论和基本方法，建立了基于衍射相位精细构建在设计、仿真、工艺、测试与评估等方面的数据和方法体系。本书适合从事微纳制造、微纳光学光电器件、光学图像信息处理等领域的科研人员阅读，也可作为高等院校师生的教学参考用书。