微机电系统原理

图书标准信息

• 作者 [韩]李基邦 著；马晓军、吕强、王国胜、魏曙光 译
• 出版社 国防工业出版社
• 出版时间 2014-04
• 版次 1
• ISBN 9787118094329
• 定价 180.00元
• 装帧 精装
• 开本 16开
• 纸张 胶版纸
• 页数 597页
• 字数 671千字

【内容简介】

微机电系统（MEMS）技术研究主要针对微小系统，它在汽车、无线电话、数码相机以及医疗设备等方面都有着广泛的应用。李基邦编著的这本《微机电系统原理》通过作者研究以及参考其他有价值的文献，针对MEMS提出了统一法和封闭形式解方法，便于读者更好地理解MEMS中的线性和非线性问题，以及开展相关应用设计。
全书共分九章，第一章为绪论部分，介绍了微机电系统的量纲分析法。第二章介绍了微制造技术。第三章为微机电系统在静力平衡条件下的静力学分析。第四章为微结构的静力性能分析。第五章为微机电系统动力学分析。第六章为微机电系统流体力学分析。第七章介绍MEMS设计中涉及的基于电磁学的基本方程。第八章和第九章介绍如何通过MEMS组件的组合设计具有特定功能的驱动器或传感器。

【目录】

第1章引言
1.1微机电系统
1.2耦合系统
1.3所需知识
1.4量纲分析
习题
第2章微制造
2.1体微加工和表面微加工
2.2光刻
2.3层沉积工艺
2.4刻蚀法
2.5制造工艺设计
习题
第3章静力学
3.1静力平衡
3.2压-张关系
3.3热应力
3.4扭转力矩作用下梁的性能
3.5力矩-曲率之间的关系
3.6梁方程
3.7加勒金法
3.8能量法
3.9梁问题的能量方法
习题
第4章微结构的静力性能
4.1微结构的元件
4.2通用梁的刚度
4.3杆系
4.4刚度变换
4.5平面结构的静力性能
4.6残余应力
4.7结构的立方力
4.8势能
4.9势能间的相似性
习题
第5章动力学
5.1三次方程
5.2运动的描述
5.3动态支配方程
5.4势能和动能之间的能量转换
5.5无阻尼自由振动系统
5.6阻尼系统的振动
5.7多自由度系统
5.8连续系统
5.9有效质量、阻尼和刚度
5.10具有重复结构的系统
5.11达芬方程
习题
第6章流体动力学
6.1黏性流
6.2连续方程
6.3纳维-斯托克斯方程
6.4雷诺方程
6.5库埃特流动
6.6流体中的振动板
6.7蠕动流
6.8挤压膜
习题
第7章电磁学
7.1电路的基本元件
7.2基尔霍夫电流定律
7.3静电学
7.4由电场产生的力和力矩
7.5作用于各种物体的静电力和力矩
7.6电磁力
7.7作用在电场和磁场中运动电荷上的力
7.8压阻
7.9压电性
习题
第8章压电和热力驱动器
8.1组合梁
8.2压电驱动器
8.3热力驱动器
习题
第9章静电驱动器和电磁驱动器
9.1电磁驱动器
9.2梳驱动的驱动器
9.3平行板驱动器
9.4扭转驱动器
9.5两端固定梁驱动器
9.6悬梁驱动器
9.7间隙接近驱动器的动态响应
9.8间隙接近驱动器的近似
9.9电磁驱动器
习题
第10章传感器
10.1力和压力传感器
10.2加速度计
10.3静电加速度计
10.4振动陀螺仪
10.5其他结构
习题
附录
参考文献