微机电系统及工程应用
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作者莫锦秋,梁庆华,王石刚 编著
出版社化学工业出版社
ISBN9787122238832
出版时间2015-08
版次1
装帧平装
开本16开
纸张胶版纸
页数191页
字数305千字
定价58元
货号SC:9787122238832
上书时间2024-07-09
商品详情
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主编推荐:
《微机电系统及工程应用》是“现代机电一体化技术丛书”之一。本丛书邀请了研究光机电一体化很好科研院校的多位专家参与编写，另外靠前没有将光、机、电一体化技术作为一个整体技术门类来介绍的同类书。
内容简介:
本书主要从普及的角度介绍了微机电系统及其相关技术的应用。全书共12章，分别对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行了深入浅出、通俗易懂的介绍。本书的特点是信息量大、系统全面，包含了微机电系统制造过程中微机械加工、微封装、微检测各个环节；微机电系统构成中的各种微传感器、微执行器、微构件、微系统的工作机理；优选的微机电系统设计技术以及计算机辅助技术；多种设计手段和实用软件。
本书可供希望了解或采用微机电系统的工程技术人员阅读，也可作为机械工程类学生学习专业选修课的参考书。
目录:
第1章概论/001
1.1微机电系统的定义/1
1.2微机电系统的发展现状/3
第2章微尺度效应/6
2.1概述/6
2.2微执行器的尺度效应/7
2.2.1静电执行器的尺度效应/7
2.2.2电磁执行器的尺度效应/8
2.2.3SMA执行器的尺度效应/9
2.3微流体的尺度效应/9
2.4微尺度热学/11
2.4.1热传导的尺度效应 /12
2.4.2热交换的尺度效应/13
2.4.3热辐射的尺度效应/13
2.5微摩擦基础/13
2.6尺度效应的一个实例/14
第3章微机电系统材料/16
3.1概述/16
3.2硅材料/16
3.3压电材料/18
3.4形状记忆合金/19
3.5超磁致伸缩材料/20
3.6聚合物/21
3.7电流变体/22
第4章微机械制造技术/23
4.1概述/234.2微机电系统中的传统超精密与特种加工技术/23
4.2.1超精密机械加工/23
4.2.2微细电火花加工/24
4.2.3高能束微机械加工技术/25
4.3微机电系统常用的集成电路工艺/26
4.3.1薄膜成形/26
4.3.2掺杂技术/28
4.3.3光刻技术/29
4.4硅微机械加工技术/32
4.4.1体微加工技术/32
4.4.2表面微加工/36
4.4.3键合技术 /37
4.5LIGA工艺/40
4.6微封装/42
4.6.1晶片级封装/43
4.6.2单芯片封装/43
4.6.3多芯片与微系统封装/45
4.6.4表面微加
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