MEMS\NEMS谐振器技术(精)

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江苏无锡

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作者作者:张文明//胡开明|责编:陈婕//纪四稳

出版社科学出版社

ISBN9787030757197

出版时间2023-08

装帧精装

纸张胶版纸

定价298元

货号ZJ:9787030757197

上书时间2024-12-01

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商品描述: 内容简介:
本书主要介绍微/纳机电系统（MEMS/NEMS）谐振器动力学设计理论、分析方法及应用技术。全书共9章，主要内容包括：MEMS/NEMS技术基础和MEMS/NEMS谐振器技术的发展历程与发展趋势；谐振器的工作原理、谐振结构设计理论及分析技术；谐振器件制备涉及的材料、微纳加工工艺及技术；谐振器中存在的丰富非线性现象和复杂动力学行为；微纳尺度下的能量耗散理论、阻尼特性、作用机制及测试方法；谐振器中应用的各种振动激励与检测原理及技术；通道式MEMS/NEMS谐振器检测原理、动力学设计与分析技术；微纳尺度下谐振器件的模态弱耦合作用机制、谐振器设计及传感技术；谐振器中存在的典型失效模式与失效机理，以及多种可靠性评估方法和测试技术。
本书可供微电子学、机械工程、信息通信、航空航天、生物医学、凝聚态物理、环境能源、国防军事等领域从事MEMS/NEMS技术及相关应用工作的科研人员和高等院校相关专业的师生阅读参考。

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