• 电子材料制造技术实验教程(电子信息材料与器件国家级实验教学示范中心系列规划教材)/电子科学与技术专业实验教材系列丛书
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电子材料制造技术实验教程(电子信息材料与器件国家级实验教学示范中心系列规划教材)/电子科学与技术专业实验教材系列丛书

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作者贾利军

出版社科学出版社

ISBN9787030576507

出版时间2019-06

版次1

装帧平装

开本16开

纸张胶版纸

页数149页

字数210千字

定价46元

货号SC:9787030576507

上书时间2024-06-12

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商品描述
内容简介:
    全书分上、下两篇,上篇为电子薄膜制备与测试分析,介绍真空技术、镀膜工艺、薄膜生长及其表征技术等基础知识,具体阐述了直流磁控溅射镀膜、真空热阻蒸发制膜、电子束蒸发制膜、射频磁控溅射制膜、薄膜的表征及分析等六个基础实验的内容,并设计了基于薄膜材料的热电偶制作与标定、类电容器结构薄膜器件制作和薄膜光电探测器制作等三个综合实验项目;下篇为电子陶瓷制备与测试分析,介绍粉料制备、成型、烧结与电子陶瓷材料结构表征等基础知识,详细阐述电子基板、介质移相器、热敏电阻、功率电感、微波器件等用电子陶瓷材料制备与测试六个综合实验项目的设计原理、实验方法与步骤、测试分析等内容。
    本书可作为高等院校电子科学与技术、材料科学与工程等专业的实验教材或参考书,也可供相关专业研究人员参考。
目录:
上篇  电子薄膜制备与测试分析
第1章  电子薄膜基础知识
  1.1  电子薄膜制备简介
  1.2  真空技术基础
    1.2.1  真空的定义
    1.2.2  真空的获得
    1.2.3  真空的测量
  1.3  溅射镀膜工艺
    1.3.1  直流磁控溅射原理
    1.3.2  射频磁控溅射原理
  1.4  蒸发镀膜工艺
    1.4.1  真空蒸发镀膜原理
    1.4.2  电阻式加热蒸发镀膜
    1.4.3  电子束蒸发镀膜
    1.4.4  脉冲激光沉积
    1.4.5  分子束外延
    1.4.6  其他蒸发镀膜方法
  1.5  薄膜的生长过程
    1.5.1  薄膜的生长模式
    1.5.2  薄膜的形核与生长
    1.5.3  连续膜的形成
    1.5.4  薄膜的生长过程与薄膜结构
    1.5.5  薄膜中的应力和薄膜的附着力
  1.6  薄膜材料的测量与表征
    1.6.1  薄膜厚度的测量
    1.6.2  薄膜结构的表征方法
    1.6.3  薄膜成分的表征方法
第2章  电子薄膜制备与分析测试实验
  2.1  直流磁控溅射镀膜实验
    2.1.1  实验目的
    2.1.2  实验原理
    2.1.3  实验设备及器材
    2.1.4  实验步骤
    2.1.5  样品测试及实验数据处理
    2.1.6  实验思考题
  2.2  真空热阻蒸发镀膜实验
    2.2.1  实验目的
    2.2.2  实验原理...

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