微传感器、微机电系统和灵巧器件/国际知名大学原版教材
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九品
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作者韦德尔卡姆 著;加德纳;瓦拉旦
出版社清华大学出版社
出版时间2004-03
版次1
装帧平装
上书时间2024-08-27
商品详情
- 品相描述:九品
图书标准信息
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作者
韦德尔卡姆 著;加德纳;瓦拉旦
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出版社
清华大学出版社
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出版时间
2004-03
-
版次
1
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ISBN
9787302081227
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定价
55.00元
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装帧
平装
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开本
其他
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纸张
胶版纸
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页数
503页
- 【内容简介】
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微传感器、微机电系统(MEMS,micro=electro=mechanical systems)正在对半导体工业产生革命性的作用。微系统(microsystems)或片上系统(system-on-a-chip)将微电子电路和微执行器结合在一起,形成有广泛应用领域的新的研究热点。本书系统介绍微传器技术,并将微传感器、微机电系统和灵巧器件有机结合起来,适合微电子领域的高年级学生和研究人员、微传感器系统方面的工程师和开发人员阅读。由于本书内容丰富全面,对于机械、物理和材料方面的科研人员也很有参考价值。
- 【目录】
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Preface
About the Authors
Acknowledgments
1 Introduction
2 Electronic Materials and Processing
3 MEMS Materials and their Preparation
4 Standard Microelectronic Technologies
5 Silicon Micromachining:Bulk
6 Silicon Micromachining:Surface
7 Microstereolithography for MEMS
8 Microsensors
9 Introduction to SAW Devices
10 Surface Acoustic Waves in Solids
11 IDT Microsensor Parameter Measurement
12 IDT Microsensor Fabrication
13 IDT Microsensors
14 MEMS-IDT Microsensors
15 Smart Sensors and MEMS
Appendices
Index
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