3D集成手册—— 三维工艺技术（第3卷）

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作者(美) 菲利普·加洛，(日) 小柳光政， (德) 彼得·拉姆

出版社中国宇航出版社

ISBN9787515921648

出版时间2022-12

装帧其他

开本16开

纸张胶版纸

定价128元

货号4364271

上书时间2024-09-04

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商品描述: 【书    名】 3D集成手册—— 三维工艺技术（第3卷）
【书    号】 9787515921648
【出版社】中国宇航出版社
【作    者】 (美) 菲利普·加洛，(日) 小柳光政， (德) 彼得·拉姆
【出版日期】 2024-05-01
【开    本】 16开
【定    价】 128.00元

【内容简介】
3D集成手册的主要编辑是来自高科技公司和著名研究机构的顶*作者，这本书涵盖了3D工艺技术详细的细节。因此，从技术和材料科学的角度来看，本书主要关注的是硅的形成、键合和解键合、减薄、露头和背面处理等工艺。本书的*后一部分是关于评估和增强3D集成设备的可靠性，这是这种新兴技术大规模实施的先决条件。对材料科学家，半导体物理学家，和那些工作在半导体领域，以及IT和电气工程师有非常阅读价值。

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