软X射线与极紫外辐射的原理和应用
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作者[美]D.阿特伍德 著；张杰 译
出版社科学出版社
出版时间2003
货号1789109325882560513
上书时间2024-05-11
商品详情
- 品相描述：八品
- 商品描述
- A-510118001-017-4-9
图书标准信息
- 作者 [美]D.阿特伍德 著；张杰 译
- 出版社 科学出版社
- 出版时间 2003
- ISBN 9787030108135
- 定价 59.00元
- 装帧 其他
- 开本 24cm
- 页数 458页
- 正文语种 简体中文
- 原著语种 English
- 【内容简介】
- 本书主要介绍X射线与级紫外辐射的基本特性，讨论它们在半导体芯片制备等多个领域的广泛应用，并提供大量参考资料进行辅助讲述。
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