离子注入法治备石墨烯
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￥ 19.8 3.0折 ￥ 66 全新
库存5件
作者张瑞 著
出版社中国原子能出版社
ISBN9787522103846
出版时间2021-01
版次1
装帧平装
开本16开
纸张胶版纸
页数210页
字数99999千字
定价66元
货号8452899
上书时间2024-11-28
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基本信息
书名:离子注入法治备石墨烯
定价：66元
作者:张瑞 著
出版社：中国原子能出版社
出版日期：2021-01-01
ISBN：9787522103846
字数：251000
页码：210
版次：
装帧：平装
开本：16开
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内容提要
离子注入方法是近年来兴起的一种可以制备大面积、高质量石墨烯的方法。《离子注入法制备石墨烯》就团簇离子注入合成低缺陷石墨烯，超低能负团簇离子束系统及其在制备少层石墨烯中的应用，直接在衬底上合成石墨烯，负碳团簇离子注入铜箔制备石墨烯，碳化硅上合成石墨烯：通过碳团簇和氩离子注入降低石墨化温度，离子束混合技术在SiC上无转移合成类石墨烯的原子级薄碳膜等多个方面做了详细介绍。
目录
引言章 石墨烯概论1．1 碳同素异形体的发展1．2 石墨烯的简介参考文献第2章 离子注入及石墨烯制备方法2．1 离子注入技术发展2．2 离子与固体相互作用2．3 离子注入2．4 半导体器件制备中的应用2．5 在器件生产中离子注入问题2．6 离子注入制备石墨烯参考文献第3章 离子注入法合成石墨烯的前期探索3．1 离子注人镍膜合成厚度可调的石墨烯层3．2 离子注人镍薄膜合成少层石墨烯3．3 高温碳注入镍膜获得多层石墨烯3．4 碳离子注入镍膜并快速热退火后局域生长石墨烯3．5 利用高温碳离子注入合成晶圆级多层石墨烯参考文献第4章 团簇离子注入制备石墨烯的研究4．1 团簇离子注入制备石墨烯及非线性损伤效应的研究4．2 超低能负团簇离子束系统及其在制备少层石墨烯中的应用4．3 采用团簇离子束注入合成高质量石墨烯4．4 C2-C6团簇离子注入制备少层石墨烯的拉曼光谱研究4．5 通过离子注人法在SiO2/Si上直接合成石墨烯4．6 探索团簇离子注入的制备方法：从超薄碳膜到石墨烯4．7 低能团簇负离子束研究4．8 负碳团簇离子注入铜箔制备石墨烯参考文献第5章 离子注入SiC合成石墨烯5．1 通过离子注入法在SiC上刻画石墨烯纳米带5．2 通过离子注入和脉冲激光退火对SiC进行低温选择性石墨化参考文献第6章 离子注入碳化硅合成石墨烯的研究6．1 碳化硅上合成石墨烯：通过碳团簇和氩离子注入降低石墨化温度6．2 离子束混合技术在SiC上无转移合成类石墨烯的原子级薄碳膜参考文献结束语
作者介绍
序言
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【封面】
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