全新正版 微机电系统基础(原书第2版)/国外电子电气经典教材系列 (美)刘昶|译者:黄庆安 9787111406570 机械工业
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作者(美)刘昶|译者:黄庆安
出版社机械工业
ISBN9787111406570
出版时间2013-02
装帧其他
开本其他
定价69元
货号2502396
上书时间2023-05-12
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作者简介
ChangLiu(刘昶)于1995年在美国加州理工学院获博士学位。1996年在美国伊利诺斯大学微电子实验室作博士后，1997年成为伊利诺斯大学电气与计算机工程系和机械与工业工程系联合任命的助理教授，2003年获得终身职位并任副教授。
ChangLiu在微机电系统MEMS领域研究已经14年，发表120余篇国际期刊论文及会议论文，他的研究工作被广泛引用。他为本科生和研究生开设了多门课程，包括MEMS、固体电子学、机电学和传热学。他因利用MEMS技术开发人工毛发细胞方面的工作，于1998年获得美国国家科学基金会的CAREER奖。他目前担任国际期刊JMEMS的编委和IEEESensorsJoumal的副主编以及IEEEMEMS，IEEESensors等多种国际会议程序委员会委员。
目录
第2版译者序
第1版译者序
教师备忘录
前言
第1章 绪论
1.0 预览
1.1 MEMS发展史
1.1.1 从诞生到1990年
1.1.2 从1990年到2001年
1.1.3 从2002年到现在
1.1.4 未来发展趋势
1.2 MEMS的本质特征
1.2.1 小型化
1.2.2 微电子集成
1.2.3 高精度的并行制造
1.3 器件：传感器和执行器
1.3.1 能量域和换能器
1.3.2 传感器考虑
1.3.3 传感器噪声及设计复杂性
1.3.4 执行器考虑
1.4 总结
习题
参考文献
第2章 微制造导论
第3章 电学与机械学基本概念
第4章 静电敏感与执行原理
第5章 热敏感与执行原理
第6章 压阻传感器
第7章 压电敏感与执行原理
第8章 磁执行原理
第9章 敏感与执行原理总结
第10章 体微机械加工与硅各向异性刻蚀
第11章 表面微机械加工
第12章 工艺组合
第13章 聚合物MEMS
第14章 微流控应用
第15章 MEMS典型产品实例
附录A 典型MEMS材料特性
附录B 梁、悬臂梁、板的常用力学公式
附录C 处理二阶动态系统的基本方法
附录D 常用材料的制备方法、刻蚀剂和能够承受的最高温度
附录E 常用材料去除工艺
附录F 材料和工艺之间的兼容性总结
附录G 商用惯性传感器比较部分习题答案
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