全新正版 多晶硅生产技术——项目化教程（刘秀琼）（第二版） 刘秀琼 9787122358011 化学工业出版社
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作者刘秀琼
出版社化学工业出版社
ISBN9787122358011
出版时间2019-11
装帧平装
开本16开
定价45元
货号30939936
上书时间2023-04-10
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商品详情
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作者简介
无
目录
绪论
0.1 改良西门子法生产多晶硅
0.2 其他多晶硅生产方法
项目一 气体的制备与净化
任务一 气体的制备
任务二 气体净化
【小结】
【习题】
项目二 三氯氢硅的合成
任务一 液氯汽化
任务二 氯化氢的合成
任务三 三氯氢硅的合成
【小结】
【习题】
项目三 三氯氢硅精馏提纯
任务一 精馏提纯原理及相关计算
任务二 精馏提纯设备
任务三 精馏提纯工艺
任务四 精馏提纯操作
任务五 设备、管道的检修
任务六 故障处理
【小结】
【习题】
项目四 三氯氢硅氢还原制备高纯硅
任务一 知识准备
任务二 三氯氢硅氢还原工艺、核心设备结构及操作
任务三 设备、管道保养与维护
任务四 还原工序常见故障判断与处理
任务五 三氯氢硅氢还原工序产品质量要求及控制
【小结】
【习题】
项目五 尾气干法回收
任务一 还原尾气干法回收知识准备
任务二 识读还原尾气干法回收工艺流程
任务三 尾气干法回收主要设备
任务四 设备准备及安全检查
任务五 尾气干法回收原辅材料准备
任务六 尾气干法回收关键及核心设备操作
任务七 尾气回收故障处理
任务八 设备、管道保养与维护
【小结】
【习题】
项目六 四氯化硅的综合利用与处理
任务一 认识四氯化硅
任务二 四氯化硅氢化回收
任务三 四氯化硅处理的其他技术
【小结】
【习题】
项目七 硅芯的制备与腐蚀
任务一 硅芯的制备
任务二 硅芯腐蚀
【小结】
【习题】
项目八 纯水的制备
任务一 纯水制备
任务二 超纯水制备
任务三 纯水测量
【小结】
【习题】
参考文献
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