中国科学院研究生教学丛书：薄膜生长

图书标准信息

• 作者 吴自勤、王兵 著
• 出版社 科学出版社
• 出版时间 2001-09
• 版次 1
• ISBN 9787030091529
• 定价 28.00元
• 装帧 平装
• 开本 大32开
• 纸张 胶版纸
• 页数 419页
• 字数 351千字
• 正文语种 简体中文

【内容简介】

　　《薄膜生长/中国科学院研究生教学丛书》集中介绍了薄膜科学中的关键部分——薄膜生长。全书由15章五个方面的内容组成：第一至四章主要从薄膜的角度介绍相平衡和晶体表面原子结构的基础知识。第五至七章主要介绍薄膜中的缺陷和扩散，第八、九章主要介绍薄膜生长的三种模式和成核长大动力学。第十至十三章主要介绍金属薄膜、半导体薄膜、氧化物薄膜的生长和生长中出现的分形现象。第十四、十五章介绍薄膜制备和研究的各种方法。
　　《薄膜生长/中国科学院研究生教学丛书》不仅系统地介绍了有关薄膜生长的固体物理学知识，而且介绍了薄膜生长的前沿进展和薄膜检测的各种先进方法。
　　《薄膜生长/中国科学院研究生教学丛书》可作为固体物理、材料科学专业的研究生教学用书，也可供从事薄膜研制和生产的科技人员参考。

【目录】

第一章相平衡和界面相
1.1相平衡
1.2元素和合金的相图
1.3固溶体的能量
1.4固溶体的组态脑
1.5界面相
1.6界面曲率半径的影响
1.7晶体表面能、界面能和黏附能
1.8固体表面张力的测定方法
1.9表面能对薄膜稳定性的影响
参考文献

第二章晶体和晶体表面的对称性
2.1晶体的对称性
2.2晶体表面的对称性
2.3晶面间距和晶列间距公式
2.4倒易点阵
参考文献

第三章晶体表面原子结构
3.1晶体表面的原子结构
3.2表面原子的配位数
3.3表面的台面-台阶-扭折（TLK）结构
3.4邻晶面上原子的近邻数
3.5晶体表面能的各向异性
3.6台阶和台面的粗糙化
参考文献

第四章再构表面和吸附表面
4.1再构表面和吸附表面结构的标记
4.2半导体再构表面结构
4.3金属再构表面结构
4.4吸附表面结构
4.5表面相变
参考文献

第五章薄膜中的晶体缺陷
5.1密堆积金属申的点缺陷
5.2半导体中的点缺陷
5.3表面点缺陷
5.4位错和层错
5.5孪晶界和其他面缺陷
参考文献

第六章外延薄膜中缺陷的形成过程
6.1晶格常数和热膨胀系数的影响
6.2异质外延薄膜中的应变
6.3外延薄膜中的错配位错
6.4岛状薄膜中的应变和错配位错
6.5外延薄膜中其他缺陷的产生
参考文献

第七章薄膜中的扩散
7.1扩散的宏观定律和微观机制
7.2短路扩散
7.3半导体晶体中的扩散
7.4短周期超晶格中的互扩散
7.5反应扩散
7.6表面扩散
7.7表面扩散的实验研究方法
7.8电迁移
参考文献

第八章薄膜的成核长大热力学
第九章薄膜的成核长大动力学
第十章金属薄膜的生长
第十一章半导体薄膜的生长
第十二章氧化物薄膜的生长
第十三章薄膜中的分形
第十四章薄膜的制备方法
第十五章薄膜研究方法