气相沉积应用技术

图书标准信息

• 作者 马文存 编；王福贞
• 出版社 机械工业出版社
• 出版时间 2007-01
• 版次 1
• ISBN 9787111200659
• 定价 38.00元
• 装帧 平装
• 开本 其他
• 纸张 胶版纸
• 页数 411页
• 字数 517千字

【内容简介】

本书在第1篇中全面阐述了化学气相沉积、物理气相沉积、等离子体增强化学气相沉积的技术基础、技术原理、新的沉积技术、工艺过程、设备配套、膜层质量检测和分析。在第2篇中介绍了气相沉积技术在工模具硬质涂层、防护涂层、光学薄膜、建筑镀膜玻璃、太阳能利用、集成电路制造、信息存储、显示器件、饰品装饰、塑料金属化和柔性基材的卷绕薄膜产品等方面的应用。本书内容丰富新颖，力求紧密联系实际。

  本书可供从事气相沉积技术的工程技术人员、科技工作者、在校师生和工人阅读，也可以作为相关专业的参考书。

【作者简介】

王福贞，1960年毕业于北京科技大学(原北京钢铁学院)金相热处理专业，现从北京联合大学机械工程学院退休。教授，北京有突出贡献专家，享受国务院津贴专家。    从1976年至今一直从事物理气相沉积技术的工艺原理探讨、沉积技术和设备研发。先后取得活性反应离子镀膜机、

【目录】

序1

序2

前言

第1篇 气相沉积技术基础及各种气相沉积技术

  第1章 气相沉积技术概述

    1 气相沉积技术分类

    2 气相沉积技术特点

    3 气相沉积技术应用

  第2章 化学气相沉积技术

    1 绪言

    2 化学气相沉积物理化学基础

    3 化学气相沉积热力学分析

    4 化学气相沉积反应物质源

    5 化学气相沉积涂层质量影响因素

    6 化学气相沉积装置

    7 高温化学气相沉积技术

    8 中温化学气相沉积(MT—CVD)技术

    参考文献

  第3章 物理气相沉积技术

    1 物理气相沉积技术概论

    2  物理气相沉积技术基础

    3 物理气相沉积技术

    参考文献

  第4章 等离子体增强化学气相沉积技术

    1 等离子体增强化学气相沉积技术机理

    2 等离子气体产生过程及性质

    3 等离子体化学反应过程

    4 等离子体增强化学气相沉积装置

    5 等离子体增强化学气相沉积工艺过程及特点

    6 等离子体增强化学气相沉积涂层组织特征

    参考文献

  第5章 气相沉积设备

    1 化学气相沉积设备系统

    2 等离子体增强低温化学气相沉积设备

    3 物理气相沉积设备及配套系统

    参考文献

  第6章 预处理主要辅助设备

    1 清洗

    2 刃口强化

    3 喷砂

    参考文献

  第7章 膜层质量测试

    1 膜层质量测试内容

    2 性能检验

    3 膜层的微区检测

    参考文献

第2篇 气相沉积技术应用领域

  第1章 气相沉积技术在硬质涂层中的应用

    1 硬质涂层制品在机械工业中的应用

    2 新型硬质涂层的发展趋势

    3 硬质涂层制品应用

    4 不同硬质涂层的实用沉积工艺技术

    5 非金属超硬涂层沉积技术复合涂层沉积技术及应用 

    参考文献

  第2章 气相沉积技术在防护涂层方面的应用

    1 防护涂层的作用

    2 耐腐蚀涂层

    3 热障涂层

    参考文献

  第3章 气相沉积技术在光学薄膜领域中的应用

    1 光学薄膜的应用领域

    2 光学薄膜特性

    3 光学薄膜的气相沉积技术

    参考文献

  第4章 气相沉积技术在建筑镀膜玻璃方面的应用

    1 建筑镀膜玻璃的功能

    2 普通玻璃的光学性能

    3 镀膜玻璃的遮阳隔热原理

    4 智能窗玻璃

    5 防雾防露和自清洁玻璃.

    参考文献

  第5章 气相沉积技术在太阳能利用领域的应用.

    1 太阳能——取之不尽的能源

    2 太阳能光一热转换

    3 气相沉积技术在太阳能光.伏转换领域中的应用

    4 太阳能电池的应用实例

    参考文献

  第6章 气相沉积技术在集成电路制造中的应用

    1 集成电路高集成化发展方向

    2 集成电路类型

    3 集成电路组成

    4 集成电路加工工艺

    5 分立器件电路的加工

    参考文献

  第7章 气相沉积技术在信息显示器件中的应用

    1 信息显示器件的应用

    2 信息显示器件的种类

    3 平板显示器件用薄膜

    参考文献

  第8章 气相沉积技术在信息存储领域的应用

    1 信息存储技术的进展

    2 信息存储的类型与存储薄膜

    3 超高密度信息存储材料

    4 纳米区内电荷存储技术

    参考文献

  第9章 气相沉积技术在装饰饰品上的应用

    1 装饰品给人们五彩缤纷的生活

    2 金属基材装饰膜的沉积

    3 塑料件装饰膜的沉积

    4 真空卷绕镀膜技术

    参考文献