高温SiC MEMS传感器的热电特性

图书标准信息

• 作者 [澳]丁东安 著；王兴华 译
• 出版社 科学出版社
• 出版时间 2022-06
• 版次 31
• ISBN 9787030724892
• 定价 88.00元
• 装帧 其他
• 页数 148页

【内容简介】

本书主要介绍了碳化硅(SiC)传感器在高温下热电特性的研究进展。本书可分为三部分，共七章。第一部分从单层SiC和多层SiC的热阻效应、热电效应、热电子效应和热电容效应等物理效应方面来介绍SiC的热电特性；第二部分介绍了SiC的诸多重要特征以及SiCMEMS的制造流程，总结了SiC传感器、热流传感器和对流惯性传感器的**进展；第三部分论述了SiC热电传感器的应用前景。