硅微机械传感器
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江苏南京
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作者埃尔文斯波克(ElwenspoekM.) 著作
出版社中国宇航出版社
ISBN9787801446060
出版时间2003-09
版次1
装帧精装
开本大32开
纸张胶版纸
定价35元
货号SC:9787801446060
上书时间2024-10-31
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商品详情
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内容简介:
本书详细描述了多种硅微机械传感器的工作原理。论述了包括物理定律的按比例缩小、梁和膜变形的力学、传感原理、流体流动和热传递的基本规律以及相关的电子电路等众多技术环节。
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