正版现货 氧化锌和氮化铝薄膜制备与表征实例
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作者赵祥敏
出版社冶金工业出版社
ISBN9787502469177
出版时间2015-06
版次1
装帧平装
开本32开
页数132页
定价25元
货号1201129526
上书时间2024-03-08
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商品详情
- 品相描述：全新
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名称：氧化锌和氮化铝薄膜制备与表征实例
作者：赵祥敏
品相：全新
出版时间：2015-06
装订：平装
ISBN：9787502469177
开本：32开
出版社：冶金工业出版社
版次：1
页数：132页
商品描述：
本书以实例的形式，介绍了用磁控溅射法制备氧化锌（ZnO）薄膜、氮化铝（AlN）薄膜和ZnO/AlN复合膜的详细工艺和性能表征。全书共分8章，第1章主要介绍ZnO的晶体结构、能带结构、性能与应用；第2章主要介绍AlN的晶体结构、能带结构、性能与应用；第3章主要介绍ZnO和AlN薄膜的常用制备方法及性能表征手段；第4~6章分别介绍了AlN薄膜、ZnO薄膜、ZnO/AlN复合膜的制备方法与性能表征；第7章主要介绍不同溅射时间下AlN缓冲层对ZnO薄膜的影响；第8章主要介绍退火温度对N掺杂ZnO薄膜的影响。
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