高端光刻机像质检测技术（下册）

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作者王向朝等

出版社科学出版社

ISBN9787030673558

出版时间2023-07

装帧精装

开本16开

纸张胶版纸

定价228元

货号29219231

上书时间2024-07-16

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商品描述: 【内容】:光刻机像质检测技术是支撑光刻机整机与分系统满足光刻机分辨率、套刻精度等性能指标要求的关键技术。本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了国际主流的光刻机像质检测技术，详细介绍了本团队提出的系列新技术，涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术，包括初像质参数、波像差、偏振像差、动态像差、热像差等像质检测技术。本书介绍了这些技术的理论基础、原理、模型、算法、仿真与实验验证等内容。以光刻机原位与在线像质检测技术为主，也介绍了投影物镜的离线像质检测技术，涵盖了深紫外干式、浸液光刻机以及紫外光刻机像质检测技术。

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