气相沉积薄膜强韧化技术国防科技杜军,朱晓莹,底月兰新华正版

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作者杜军,朱晓莹,底月兰

出版社国防工业出版社

ISBN9787118115222

出版时间2018-05

版次1

装帧平装

开本16

页数299页

字数376千字

定价86元

货号811_9787118115222

上书时间2024-08-05

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商品描述: 目录：

章薄膜制备方法

1.1基本概念

1.1.1薄膜生长过程

1.1.2薄膜结构模型

1.1.3等离子体

1.2物理气相沉积

1.2.1蒸发镀膜

1.2.2溅鍍膜

1.2.3离子镀膜

1.2.4离子束辅助气相沉积

1.3化学气相沉积

1.3.1化学反应

1.3.2化学气相沉积技术的分类和简介

1.3.3化学气相沉积过程及特点

1.3.4化学气相沉积技术在工模具上的应用

1.4气相沉积技术的应用及进展

1.5小结

第2章薄膜强化技术

1.1薄膜的强化方法

……

内容简介：

本书重点介绍了作者课题组近几年来在自然科学、国预研、等一系列基础研究项目的支持下，在物理气相沉积硬质薄膜强韧化方法、理论、表征及强韧化薄膜应用领域的研究成果。主要论述了如何制备和表征具有强、韧能的薄膜，包括薄膜的制备方法，薄膜强化技术，薄膜韧化技术，薄膜的强韧能表征，薄膜内应力，强韧化薄膜实例。

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