硅微型惯性器件理论及应用

图书标准信息

• 作者 王寿荣 编
• 出版社 东南大学出版社
• 出版时间 2000-10
• 版次 1
• ISBN 9787810506939
• 定价 20.00元
• 装帧 平装
• 开本 其他
• 纸张 胶版纸
• 页数 178页
• 字数 280千字

【内容简介】

本书系统地介绍了硅微型惯性器件的理论及应用问题。全书共7章，第1章介绍微型惯性器件的物理基础；第2章至第4章为硅微型惯性器件的原理及误差分析，第5章介绍硅微型惯性器件的制备工艺；第6章简介几种微电容测量方法及硅微型惯性仪表的测控回路；第7章为硅微型惯性器件的组合及应用。

  本书系中国船舶工业总公司“九五”规划教材，可作为高等学校测控技术与仪器及其相关专业的研究生，本科生的教学参考书，也可供从事传感器、执行器及惯性技术研究的工程技术人员阅读。

【目录】

0　绪论

　0.1　微机系统与微型制造技术

　0.2　硅微型惯性器件及微惯性测量组合

1　微型惯性器件的物理基础

　1.1　硅材料的物理性能

　1.2　微型惯性器件的动力学基础

　1.3　微机械元件的弹性理论基础

2　硅微型加速度计

　2.1　概述

　2.2　原理结构

　2.3　误差分析及补偿

　2.4　硅微加速度计的测试与定标

3　硅微型框架驱动或陀螺仪

　3.1　结构组成和作用原理

　3.2　运动方程

　3.3　误差分析

　3.4　结构设计

4　硅微型梳状驱动陀螺仪

　4.1　音叉式振动陀螺仪

　4.2　静电梳状驱动谐振器

　4.3　硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪

　4.4　硅微型梳状角振动驱动式陀螺仪

　4.5　谐振频率的调节

　4.6　硅微型振动陀螺仪的计算机辅助分析

5　硅微型惯性器件的制备

　5.1　硅微机械加工技术简介

　5.2　硅微型惯性器件的制备

6　硅微型惯性仪表的测控技术

7　硅微型惯性器件的组合及应用

参考文献