微机电系统应用

图书标准信息

• 作者 [美]Mchanied、Hak、张海霞、赵小林、金玉丰 著
• 出版社 机械工业出版社
• 出版时间 2009-07
• 版次 1
• ISBN 9787111267331
• 定价 108.00元
• 装帧 精装
• 开本 16开
• 纸张 胶版纸
• 页数 467页
• 字数 741千字
• 正文语种 简体中文
• 丛书 国际制造业先进技术译丛

【内容简介】

　　《微机电系统应用》是MEMS系列图书中的一本，主要介绍MEMS技术应用方面的知识。内容包括：惯性传感器、微机械压力传感器、表面微加工器件、微执行器、湍流传感器与执行器、微机器人技术、微型真空泵、非线性动电器件、微液滴发生器、微热管和微散热器、微通道热沉、流动控制、用于边界层减阻的反应式控制、自由剪切流的MEMS自主控制。《微机电系统应用》主要面向MEMS专业的高年级本科生和研究生，也可供MEMS技术研究人员参考。

【目录】

译丛序言
译者序
第1章绪论
参考文献

第2章惯性传感器
2.1简介
2.2惯性传感器的应用
2.3加速度的基本概念
2.4直线运动惯性传感器参数
2.5旋转运动的惯性传感器参数
2.6惯性传感器件的微机械加工技术
2.7微加工工艺加工问题
2.8惯性传感器的系统问题
2.9结束语
参考文献

第3章微机械压力传感器：器件、接口电路及性能
3.1简介
3.2器件结构和性能测试
3.3压阻式压力传感器
3.4电容式压力传感器
3.5伺服控制压力传感器
3.6其他压力传感方式
3.7结论
参考文献

第4章表面微加工器件
4.1引言
4.2材料特性和几何结构
4.3应力与应变
4.4机械设计
4.5封装
4.6应用
4.7MEMS失效机理
4.8结论
参考文献

第5章微执行器
5.1引言
5.2压电执行器
5.3电磁驱动器
5.4形状记忆合金驱动器
参考文献

第6章湍流传感器与执行器
6.1绪论
6.2MEMS工艺概述
6.3湍流
6.4用于湍流测量和控制的传感器
6.5用于流动控制的微执行器
6.6微透平机械
6.7结论
参考文献

第7章微机器人技术
7.1引言
7.2什么是微机器人
7.3微机器人的应用环境
7.4微机器人的制造技术
7.5微机器人器件
7.6多机器人系统（微型工厂和桌面工厂）
7.7结论与讨论
参考文献

第8章微型真空泵
8.1引言
8.2基础知识
8.3泵尺度
8.4MEMS真空系统的极限压强和抽气能力
8.5MEMS系统的工作压强和Ⅳ需求
8.6尺度规律综述
8.7新型泵送技术
8.8结论
参考文献

第9章非线性动电器件
9.1引言
9.2非线性动电现象
9.3交流动电现象
9.4小结
参考文献

第10章微液滴发生器
10.1简介
10.2微液滴发生器的工作原理
10.3物理和设计问题
10.4微液滴发生器的制造
10.5液滴产生的特性
10.6应用
10.7结束语
参考文献

第11章微热管和微散热器
11.1概述
11.2单个微热管
11.3微热管阵列
11.4平板微散热器
11.5新设计
11.6概要和结论
参考文献

第12章微通道热沉
12.1绪论
12.2微通道内对流换热的基本原理
12.3微通道内单相对流换热
12.4微通道内两相对流换热
12.5小结
参考文献

第13章流动控制
13.1绪论
13.2一般性原理
13.3“驯悍记”（ThetamingoftheShreu）
13.4湍流控制
13.5抽吸
13.6相干结构
13.7反应式流动控制
13.8磁流体控制
13.9混沌控制
13.10软计算
13.11应用MEMS技术的反应式控制
13.12总结
参考文献

第14章用于边界层减阻的反应式控制
14.1绪论
14.2近壁流向涡
14.3反相控制
14.4基于壁上检测的反应式控制
14.5有源壁运动
14.6结束语
参考文献

第15章自由剪切流的MEMS自主控制
15.1绪论
15.2自由剪切流
15.3剪切层MEMS控制系统组件和问题
15.4三角翼上滚动力矩的控制
15.5超声速射流啸音的控制
15.6低雷诺数翼上分离的控制
15.7对未来的思考
参考文献