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现货英文原版 Handbook of Silicon Semiconductor Metrology

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1500 九五品

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北京昌平

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作者Alain C. Diebold

出版社CRC Press

ISBN9780824705060

出版时间1980

装帧精装

页数894页

货号G

上书时间2023-08-03

北京书香外文

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商品详情

品相描述：九五品: 近全新，封面边角轻微磕碰，图片实拍

商品描述: Containing more than 300 equations and nearly 500 drawings, photographs, and micrographs,
this reference surveys key areas such as optical measurements and in-line calibration methods. It describes cleanroom-based measurement technology used during the manufacture of silicon integrated circuits and covers model-based, critical dimension, overlay, acoustic film thickness, dopant dose, junction depth, and electrical measurements; particle and defect detection; and flatness following chemical mechanical polishing. Providing examples of well-developed metrology capability, the book focuses on metrology for lithography, transistor, capacitor, and on-chip interconnect process technologies.

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