现货速发 激光热敏光刻:原理与方法9787302607458 文墨书籍
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北京房山
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作者魏劲松著
出版社清华大学出版社
ISBN9787302607458
出版时间2022-08
版次1
装帧精装
开本其他
定价129元
货号_11782469
上书时间2024-02-02
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商品详情
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- 商品描述
- 本书首先对目前各种光刻技术的原理、方法和特行描述与分析比较，由此引出本书的主题——激光热敏光刻； 然后详细阐述激光热敏光刻的物理过程、仪器系统、光刻策略、用于**光斑尺的纳米光刻、跨尺度光刻、宽波段光刻、分辨率极限光刻、灰度图形光刻，以及图形转移的方法和相应的实验结果及应用事例。希望本书阐述的内容能从另一个角度分析和理解光刻，从而给目前的光刻技术带来变革性影响，以满足未来个性化和智能化的微电子芯片与微纳结构光电子器件的需求。
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